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然而,双方基于EBL的方法虽然具有极高的加工自由度和分辨率,但它也面临着一些挑战。当定义跨尺度结构时,感情个要由于需要更长的曝光时间及受到更严重的邻近效应,上述缺点变得更加明显。
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作者展示了轮廓加工能够实现无粘附金属结构的可靠制作,求过可避免牺牲层的使用,从而显著促进转印流程。
由于纳米间隙的极小尺寸和几何形貌要求,果融洽在大多数情况下,果融洽必须采用先进的图案化方法,一般包括电子束光刻(EBL)、金属薄膜沉积和金属剥离三个步骤。重点尺寸均价上涨一方面是消费者更新换代的需求释放,双方十一促销期间高端产品的销售比重提升;另一方面是源自上游面板价格的上涨,双方成本压力导致部分机型的提价。
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